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德智新材料申請復合材料及其制備方法和應用專利,提高產品抗熱震性
發(fā)布于 2025-08-17 11:18:03 作者: 胡蕓溪
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金融界2024年9月28日消息,國家知識產權局信息顯示,湖南德智新材料有限公司申請一項名為“復合材料及其制備方法和應用”的專利,公開號 CN 118703979 A,申請日期為2024年8月。
專利摘要顯示,本發(fā)明涉及半導體材料的技術領域,提供了復合材料及其制備方法和應用,其制備方法包括(1)向沉積室中一次性注入Ta源氣體、C源氣體和還原氣體,在自適應控壓裝置的調控下,在基底上CVD沉積一層TaC子層;(2)待沉積完成后,至少重復一次步驟(1),在步驟(1)中的TaC子層上沉積至少另一層TaC子層,得到所述復合材料。本發(fā)明通過脈沖式沉積的方法沉積的TaC涂層能夠緩解TaC和碳基基底的熱膨脹系數(shù)不匹配的問題,提高產品的抗熱震性能,且能夠提高產品的韌性和涂層間的結合強度。
本文源自金融界
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